恒运昌申请阻抗匹配装置相关专利, 分时分级扫频, 提升多级脉冲阻抗匹配性能

7月22日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请一项名为“阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质”的专利。申请公布号为CN122431476A，申请号为CN202610866535.X交易系统失败原因，申请公布日期为2026年7月21日，申请日期为2026年6月16日，发明人林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅，专利代理机构北京棋拾知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师杨雪婷，分类号G05F1/12、H01J37/32、H03K5/04、H03K5/125。

专利摘要显示，本申请公开了一种阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质。该方法包括：获取当前原始功率信号，原始功率信号在每个信号周期中包括多个预设的分级脉冲；针对各分级脉冲，分别根据对应的分级连续频率范围内的多个分级频率形成多个分级扫频信号；计算各分级扫频信号与对应的分级脉冲之间的特征差异，并根据特征差异确定各分级脉冲各自对应的工作频率；在各分级脉冲对应的输出时段内，使用该分级脉冲对应的工作频率执行阻抗匹配处理。通过对不同分级脉冲分别确定工作频率并分时执行阻抗匹配，提高了多级脉冲场景下阻抗匹配的自适应能力、准确性和稳定性。

恒运昌是国内等离子体电源领域专精特新领先企业，核心产品覆盖多类等离子体电源及配套装置，具备自主研发的技术壁垒优势。公司成立于2013年3月19日，将于2026年1月28日在上海证券交易所上市，注册及办公地址均位于广东省深圳市。

公司主营业务为等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源及相关配件的研发、生产、销售与技术服务，同时引进真空获得、流体控制等领域核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案，所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，覆盖芯片概念、专精特新、高价股三大概念板块。

2025年，恒运昌实现营业收入5.29亿元，在26家同行业可比公司中排名第22位，同期行业营收第一名北方华创达393.53亿元、第二名中微公司达123.85亿元，行业平均营收为40.12亿元，行业中位数为13.86亿元；营收结构中自研产品贡献4.15亿元，占比78.38%，引进产品贡献8661.32万元，占比16.36%，技术服务贡献2788.26万元，占比5.27%。同期公司实现净利润1.14亿元，行业排名第15/总家数26，行业净利润榜首北方华创为54.09亿元，第二名中微公司为20.64亿元，行业平均净利润5.9亿元，行业中位数1.62亿元。

指标类别

具体指标

数值情况

行业对标

营收表现

2025年营业收入

5.29亿元

行业排名22/26，低于行业均值40.12亿元、中位数13.86亿元，头部企业北方华创、中微公司营收分别达393.53亿元、123.85亿元

营收结构

自研产品营收及占比

4.15亿元，78.38%

-

营收结构

引进产品营收及占比

8661.32万元，16.36%

-

营收结构

技术服务营收及占比

2788.26万元，5.27%

-

盈利表现

2025年净利润

1.14亿元

行业排名15/26，低于行业均值5.9亿元、中位数1.62亿元，头部企业北方华创、中微公司净利润分别达54.09亿元、20.64亿元

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质发明专利公布CN202610866531.12026-06-16CN122387258A2026-07-14林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅2阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质发明专利公布CN202610866535.X2026-06-16CN122431476A2026-07-21林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅3增益定标方法、动态阻抗测试方法、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610655279.X2026-05-13CN122172062A2026-06-09林伟群、乐卫平、黄永镇、钟睿4射频电源的最大梯度角确定方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610655069.02026-05-13CN122218558A2026-06-16林伟群、乐卫平、黄永镇、钟睿5射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统发明专利公布CN202610502496.52026-04-15CN122372552A2026-07-10林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛6射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统发明专利公布CN202610503991.82026-04-15CN122372554A2026-07-10林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛7射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统发明专利公布CN202610503110.22026-04-15CN122372553A2026-07-10林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛8一种基于MEMS流量传感器的封装结构发明专利实质审查的生效、公布CN202511718126.72025-11-21CN121783294A2026-04-03乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰9射频电源外观专利授权CN202530576887.82025-09-26CN309908228S2026-04-10吴基锴、黄晓东10石墨舟的清洗方法、控制装置及清洗设备发明专利公布CN202511222075.92025-08-28CN120984635A2025-11-21乐卫平、刘涛、谢幸光、阳先峰、范天赐、吴凤波11电感耦合式离子源外观专利授权CN202530508853.52025-08-27CN309893090S2026-04-03范天赐、杨博文、阳先峰12一种D类逆变器及射频电源实用新型授权CN202521178423.22025-06-10CN224329399U2026-06-05林桂浩、林伟群、龚城13基于电场耦合的电压采样电路和射频匹配器实用新型授权CN202520985855.82025-05-19CN224203290U2026-05-05林伟群、章兵14烧结散热板的功放电路板及其制造方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510637416.22025-05-16CN120456433A2025-08-08林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩15一种散热电感、匹配器及射频能量传输装置实用新型授权CN202520974119.22025-05-16CN224203922U2026-05-05黄晓东、吴基锴、林伟群16烧结有散热板的功率放大器模块及射频电源实用新型授权CN202520974094.62025-05-16CN224356081U2026-06-12林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩17共模电感器、滤波电路及半导体工艺设备实用新型授权CN202520917900.62025-05-12CN224232456U2026-05-12杨佩铮、黄晓东18等离子体激发组件、电磁场产生装置及等离子体产生装置实用新型授权CN202520890439.X2025-05-07CN224192118U2026-05-01范天赐、刘涛19气体输送组件及等离子体产生装置实用新型授权CN202520890014.92025-05-07CN224192116U2026-05-01范天赐、刘涛20等离子体产生装置及等离子体加工设备实用新型授权CN202520899792.42025-05-07CN224205298U2026-05-05范天赐、刘涛21远程等离子体产生装置及等离子体加工设备实用新型授权CN202520898482.02025-05-07CN224356326U2026-06-12范天赐、刘涛22等离子体产生装置及等离子体加工设备实用新型授权CN202520889478.82025-05-07CN224356325U2026-06-12范天赐、刘涛23出气装置和等离子体处理设备实用新型授权CN202520890194.02025-05-07CN224384247U2026-06-19范天赐、刘涛24离子源外观专利授权CN202530220855.42025-04-22CN309611196S2025-11-18杨靖、乐卫平25匹配器外观专利授权CN202530200095.02025-04-14CN309612116S2025-11-18戴和新、乐卫平26电压采样电路和电压采样装置实用新型授权CN202520604431.22025-04-01CN224203286U2026-05-05林伟群、郭启亮27一种电感及射频设备实用新型授权CN202520470396.X2025-03-17CN223898122U2026-02-10戴和新、林伟群28一种电感结构及电感线圈安装模具实用新型授权CN202520470388.52025-03-17CN223911506U2026-02-13吴基锴、林伟群29一种电感结构实用新型授权CN202520461387.42025-03-17CN223911515U2026-02-13杨靖、林伟群30一种射频匹配器实用新型授权CN202520463818.02025-03-17CN223912462U2026-02-13黄晓东、林伟群31一种电感结构实用新型授权CN202520465236.62025-03-17CN223911491U2026-02-13吴基锴、林伟群32射频电源外观专利授权CN202530115868.52025-03-12CN309529756S2025-10-03郑孟昌、乐卫平33滤波器外观专利授权CN202530083855.42025-02-25CN309530166S2025-10-03黄晓东、乐卫平34滤波器外观专利授权CN202530083847.X2025-02-25CN309530165S2025-10-03黄晓东、乐卫平35双频匹配器外观专利授权CN202530083845.02025-02-25CN309530164S2025-10-03黄晓东、乐卫平36射频电源外观专利授权CN202530050883.62025-01-24CN309530134S2025-10-03吴基锴、乐卫平37滤波器外观专利授权CN202530050861.X2025-01-24CN309530133S2025-10-03黄晓东、乐卫平38功率合成再分配发生器外观专利授权CN202530044831.82025-01-22CN309530126S2025-10-03杨靖、乐卫平39松不脱安装组件实用新型授权CN202520156074.82025-01-22CN223810010U2026-01-16杨靖、黄晓东40射频电路实用新型授权CN202520157802.72025-01-22CN223928310U2026-02-17林伟群、关广宁、黄磊新41一种射频电源的逆变电路及其本振信号调制电路实用新型授权CN202520140574.22025-01-21CN223785972U2026-01-09林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平42一种射频电源及其逆变器保护电路实用新型授权CN202520140249.62025-01-21CN224021633U2026-03-20林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平43一种逆变电路及信号调制电路实用新型授权CN202520140395.92025-01-21CN224021634U2026-03-20林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平44一种桥式逆变电路及其驱动电路发明专利公布CN202510093753.X2025-01-21CN122437366A2026-07-21林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平45射频电源的调试方法和射频电源系统发明专利公布CN202510070014.92025-01-14CN122386177A2026-07-14唐亚海、林伟群、林桂浩、乐卫平46一种用于管道内壁的镀膜装置以及等离子体镀膜系统实用新型授权CN202423044917.X2024-12-09CN223481276U2025-10-28乐卫平、唐亚海、杨靖、刘涛47一种等离子体反应腔体的高压点火启辉装置及阻抗匹配器实用新型授权CN202423027145.92024-12-09CN223694047U2025-12-19林伟群、郭启亮、章兵48一种等离子体反应腔体的点火启辉装置及阻抗匹配器实用新型授权CN202423026797.02024-12-09CN223694046U2025-12-19林伟群、郭启亮、章兵49一种用于管道内壁的等离子体喷涂装置实用新型授权CN202423031888.32024-12-09CN223780331U2026-01-09乐卫平、林桂浩、吴基锴、刘涛50一种散热组件及等离子体电源结构发明专利实质审查的生效、公布CN202411798994.62024-12-09CN122180019A2026-06-09乐卫平、林伟群、黄晓东、刘涛交易系统失败原因